MPCVD金刚石膜沉积技术及金刚石膜材料在微波电真空器件中的应用

摘要：

金刚石膜是一种集众多优异性能于一身的新材料,尤其是其热导率高、绝缘性能好以及微波介电损耗低等特点,使金刚石膜在微波电真空器件领域有着重要的应用前景.目前,以微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法制备高品质金刚石膜的技术已趋向成熟.本文将首先简述MPCVD方法沉积金刚石膜的原理，进而介绍国内外MPCVD金刚石膜沉积技术的发展现状以及MPCVD方法在制备高品质金刚石膜材料方面的应用情况。最后，介绍了金刚石膜材料在微波电真空器件的微波输出窗、行波管螺旋线与慢波结构以及场致电子发射器件方面的应用。

关键词： 微波电真空器件 金刚石膜材料 微波等离子体化学气相沉积法 热导率 绝缘性能 微波介电性能

作者: 唐伟忠 丁明清 李莉 冯进军

作者单位: 北京科技大学新材料技术研究院,北京100083 北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家实验室,100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国电子陶瓷、陶瓷——金属封接第十四届会议暨真空电子与专用金属材料分会2014年年会

会议地点: 景德镇

会议语种:中文

页码: 12-16

在线出版日期: 2014-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）