微流量测量方法及其技术的发展
本文归纳了近五年来基于MEMS技术的微流量传感器结构及性能参数.根据国际上热门的研究方法推断微流量测量技术可能的发展方向与研究趋势,即集成两种或两种以上测量方法,实现优势互补,提高测量精度或扩大量程比.最后基于现有的技术基础,提出了融合科氏效应与差压效应的微流量测量方法,阐述了传感器的工作原理与理论基础,并对其可行性进行了分析与论证.MEMS 技术的进步使得各种类型传感器的精密制造成为可能，相比于传统的宏观尺度传感器，微尺度传感器具有更高灵敏度，更低成本，更容易实现集成化和便携化。自从 MEMS 技术应用到微流量测量领域以来，纵观近五年来国内外微流量测量技术的发展，除了基于已有的测量原理从结构上进行创新以外，还在利用科技的发展不断探索新的测量方法，同时，多种方法结合提高传感器性能也是其中的一个重要发展方向。此外，文中提出了一种科氏效应与差压效应相结合的测量方法，通过理论与仿真手段系统的论述此方法的可行性，初步确定使用多维回归分析法对两种方法的测量结果进行处理，以期提高流量测量精度，扩大量程比。
微流量传感器 微流量测量技术 科氏效应 差压效应 数据融合
胡纯 樊尚春 郑德智
仪器科学与光电工程学院,北京航空航天大学,北京100191
国内会议
贵阳
中文
1-8
2014-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）