基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器设计制造

摘要：

文中设计制造了基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度的二悬梁微加热器平台(MHP).利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.在最佳工作温度下(250℃),此微纳融合气体传感器的功耗仅为24mW,响应时间约为2s,对1ppm的乙醇的灵敏度(Rair/Rgas)可达到3.47,有望在安全监控、环境保护等方面得到广泛应用.

关键词： 气体传感器 制造工艺 微型加热器平台 二氧化锡薄膜

作者: 郭联峰 王翊 戴正飞 段国韬 蔡伟平 王跃林 李铁

作者单位: 中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家实验室,传感技术联合国家重点实验室,上海200050 中国科学院固体物理研究所 安徽 合肥 230031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 212-217

在线出版日期: 2014-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）