金属硅化物肖特基二极管的电特性研究

摘要：

本文通过流片实验,制作了Cr、Ni、Ti等特种金属硅化物和Al金属肖特基二极管,并对其电流电压特性进行了测试比较.结果表明,与Al/Si二极管相比,金属硅化物肖特基二极管具有较低的势垒高度,但大电流条件下具有较强的电阻效应.采用电流电压法提取出了四种肖特基二极管的势垒高度,钛硅化物二极管为0.49eV,镍硅化物二极管为0.53eV,铬硅化物二极管为0.60eV,纯铝二极管为0.71eV.

关键词： 肖特基二极管 金属硅化物 电流电压特性

作者: 高博 鲁红玲

作者单位: 西安微电子技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 332-335

在线出版日期: 2014-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）