有序纳米硅柱的湿敏性能研究

摘要：

本文中提出了一种新型的基于有序纳米硅柱阵列的气敏传感器,利用纳米胶体刻蚀技术在绝缘衬底上的硅(SOI)材料上制备有序纳米硅柱,利用其比表面较大,可以吸附大量气体的特点制备了原型气敏器件.在此基础上,检测了气敏器件的湿敏性能,结果表明有序纳米硅柱具有很好的灵敏度.

关键词： 气敏传感器 有序纳米硅柱 胶体刻蚀 湿敏性能

作者: 李卫 胡明月 赵宗良 刘忠超 葛鹏鹏 李轩 张陆

作者单位: 南京邮电大学 电子科学与工程学院 南京 210003

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会电路与系统学会第二十四届年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 355-360

在线出版日期: 2013-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）