基于FBAR的L波段MEMS滤波器

摘要：

提出了基于AlN压电薄膜体声波谐振器(FBAR)的L波段MEMS滤波器,并进行了研究.采用Mason等效模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟,提出了滤波器的改进型π-T混合拓扑结构,得到了较好的滤波器性能指标.器件的中心频率为1.09GHz,1dB带宽为20MHz,带内波动小于0.4dB,带外抑制大于60dB@30MHz±f0.最后设计了滤波器三维结构并给出了相应的MEMS加工工艺流程.

关键词： 滤波器 压电薄膜体声波谐振器 三维结构 优化设计

作者: 黄裕霖 鲍景富

作者单位: 电子科技大学电路与系统系 成都 611731

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会电路与系统学会第二十四届年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 440-451

在线出版日期: 2013-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）