扭转式NEMS静态Pull-in现象分析

摘要：

基于扭转式NEMS执行器的单自由度力学模型,运用考虑Casimir力时的静电纳执行器静态pull-in参数的力学分析法,分析了Casimir力对扭转式纳电子机械(NEMS)执行器静态稳定性的影响.考虑外电压和Casimir作用时,扭转式执行器失稳时的pull-in角度和pull-in电压与结构的几何尺寸有关.不考虑外电压时,给出了扭转式执行器在Casimir力作用下发生pull-in现象的临界几何尺寸的关系表达式.

关键词： 微机电系统 扭转式纳执行器 静态Pull-in现象 力学分析法 临界几何尺寸

作者: 唐瑶 方玉明 王蔚

作者单位: 南京邮电大学 电子科学与工程学院,南京210003

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会电路与系统学会第二十四届年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 452-456

在线出版日期: 2013-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）