考虑Casimir力的平行板式纳米级执行器静态Pull-in现象分析

摘要：

当执行器尺寸达到纳米数量级的时候,Casimir力的作用不容忽视,本文分别通过力法推导出了当极板仅受到静电力作用情况下的Pull-in参数值,并在此基础上推导出了系统受到静电力和Casimir力共同作用时的Pull-in参数值.并将两种结果进行了对比和分析,得出了纳米级执行器受到Casimir力影响的大小范围.纳米级执行器考虑了Casimir力作用下的静态Pull-in参数和系统仅受到静电力作用的情况相比,都有所减小.

关键词： 机电系统 纳米级执行器 静态Pull-in现象 力学特性

作者: 王蔚 方玉明 唐瑶

作者单位: 南京邮电大学 电子科学与工程学院,南京 210003

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会电路与系统学会第二十四届年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 465-468

在线出版日期: 2013-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）