Love波湿度传感器研究

摘要：

本文将研究通过磁控溅射法在蓝宝石R面上生长ZnO薄膜，然后通过光刻义指换能器制作成能够激发Love波的声表面波延迟线器件，进一步检测其对湿度的传感特性。ZnO压电薄膜Love波传感器对湿度变化反应迅速，在环境湿度从10％RH变化到90%的过程中，其插损值变化2dB,且能很准确地运用插损值表征环境湿度。

关键词： 湿度传感器 氧化锌薄膜 磁控溅射法 延迟线结构 检测系统

作者: 兰晓东 王艳 张淑仪 范理 水修基

作者单位: 近代声学教育部重点实验室,南京大学,声学研究所,南京210000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会第八届全国会员代表大会暨2014年全国声学学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 264-266

在线出版日期: 2014-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）