基于缩醛聚合物的化学增幅型紫外光刻胶

摘要：

文中利用双酚A和二乙烯基醚化合物进行反应得到一类新型缩醛聚合物.这些有机化合物可溶于常用的溶剂,具有很好的热稳定性.具有很好的储存稳定性.含有缩醛结构的化合物具有高的酸解活性且在365 nm左右具有很好的光透明性,它们可以与成膜树脂和光产酸剂等组成i-线化学增幅型光致抗蚀剂体系,初步测定了它们的成像性质.

关键词： 光刻胶 化学增幅 二乙烯基醚 缩醛聚合物 酸解活性 成像性能

作者: 胡凡华 王力元

作者单位: 北京师范大学化学学院,北京 100875

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国感光学会第九次会员代表大会暨2014年学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 133-136

在线出版日期: 2014-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）