径向偏振激光的双光子微纳结构加工应用

摘要：

径向偏振型激光以其独特的性质而在基于双光子吸收理论的微纳加工领域拥有极大应用前景.其相比线偏振型激光而言更高的纵向电场分量可对改进光刻胶和金属结构的纵向分辨率起到贡献,因此通过径向偏振转换装置得到780 nm径向偏振型飞秒脉冲激光并将其作为光源和加工手段应用到多种类型的功能性微纳器件加工中可使所得结构的长径/高宽比特性得到改善,这可以通过扫描电子显微镜、红外光谱仪等多种测试、表征手段得到验证.

关键词： 径向偏振激光 微纳加工工艺 双光子吸收理论 功能结构

作者: 林乐 郑美玲 董贤子 赵震声 段宣明

作者单位: 中国科学院理化技术研究所,北京 100190;中国科学院大学,北京 100190 中国科学院理化技术研究所,北京 100190 中国科学院理化技术研究所,北京 100190;中国科学院重庆绿色与智能技术研究所,重庆 400714

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国感光学会第九次会员代表大会暨2014年学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 180-184

在线出版日期: 2014-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）