准分子激光在光电子信息领域的机遇与挑战
准分子激光基于其大能量、高功率、紫外波段输出的特性,在工业、医疗、科研和国防领域都有着很好应用价值.作为传统的气体激光器,准分子激光器在传统工业领域的应用方兴未艾,继续占据着激光加工领域不可忽视的份额,而准分子激光器在新兴光电子信息领域的应用也出现了快速增长的势头. 首先总结了放电泵浦的准分子激光特性及其在传统工业领域和新兴光电子信息产业中的应用前景。分别分析和介绍了准分子激光在半导体集成电路光刻、液晶显示器薄膜晶体管的低温退火、LED制备工艺中的激光剥离技术、高温超导带材激光沉积制备、高密度电路板和光纤布拉格光栅刻蚀等领域的应用现状和发展预测。 着重介绍了光刻用准分子激光光源及其电源系统的特性和最新技术成果。给出了光刻光源的电源和控制系统及模块的设计方案和实验结果分析。分别介绍了光刻光源的全固态电源和高精度同步控制模块的实验和结果。 介绍和分析了液晶显示器薄膜晶体管低温退火的技术优势和市场前景。讨论了该系统的初步设计方案。
光电子 激光加工 准分子激光器 激光光源
方晓东
中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥230031
国内会议
北京
中文
218-218
2014-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）