DKDP晶体的单点金刚石飞切工艺研究

单点金刚石飞切是较为成熟的DKDP(高掺氘磷酸二氢钾)晶体加工方法.本文在进口卧式金刚钻切削车床上研究了DKDP晶体的加工工艺,重点关注晶体面形误差、表面粗糙度,实现晶体表面质量的高精度控制.经过工装设计与改良、工艺优化,最终在100*100*10mm的晶片上得到了Ra1.788nm,PV0.493入的超光滑表面.
高掺氘磷酸二氢钾晶体 单点金刚石飞切工艺 表面质量
刘连亮 徐敏 李旭峰
上海超精密光学制造工程技术研究中心,复旦大学,上海200438
国内会议
上海
中文
11-11
2015-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)