折射式扫描激光异型微孔成型技术开发及应用研究

摘要：

激光微孔成型技术是利用激光束与物质相互作用的特性对材料(包括金属与非金属)进行微钻孔加工，是涉及光、机、电、计算机控制、材料特性及检测等多学科综合技术。分析异形微孔激光加工的现状,开展了折射式扫描系统的设计和应用研究.利用振镜电机快速改变折射式光学元件组相对激光束光轴的角度,从而精确控制激光聚焦光斑在加工面上的微小位移值。

关键词： 激光加工 折射式扫描系统 激光微孔成型技术 异型微孔

作者: 潘涌

作者单位: 上海市激光技术研究所,上海市激光束精细加工重点实验室200233

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市激光学会2015年学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 19-20

在线出版日期: 2015-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）