原子光刻中激光感生荧光与激光失谐量关系的分析

摘要：

激光汇聚原子沉积是一种制备纳米长度标准的新方法,主要研究原子束、激光束的特性以及两者的相互作用.原子束的速度和空间通量分布等特性对于控制激光稳频频率的获取,原子束冷却效果以及汇聚沉积的结果等关键实验环节有重要影响.而原子束不能被直接实时观察,并且准确掌握原子束的横向特性是展开原子光刻纳米光栅制备的主要难度之一.本文对原子束的横向特性进行理论分析,实验论证原子束的横向特性,以及利用原子束和激光束相互作用的感生荧光,对荧光图像与激光失谐量的关系进行研究,实现稳频频率获取.

关键词： 纳米光栅 激光汇聚原子沉积法 原子束 感生荧光 失谐量

作者: 刘杰 李同保 程鑫彬 马艳 陈杰 邓晓

作者单位: 同济大学物理科学与工程学院,上海200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市激光学会2015年学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 122-122

在线出版日期: 2015-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）