氟化物减反射膜在DUV/VUV波段光学性能的时效性研究

摘要：

氟化物减反射膜放置一段时间,性能会发生变化,本文主要研究其光学性能的时效变化.两批不同膜系的减反射膜SP的中心波长向长波方向不同速率地漂移,反射率低于0.5％的带宽变化不一致.因此可以从膜系设计上来改善减反射膜的时效变化.

关键词： 减反射膜 氟化物 光学性能 时效性

作者: 赵家 张伟丽 易葵 邵建达

作者单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院强激光材料重点实验室,上海201800;上海大学,材料科学与工程学院,电子信息材料系,上海200444 中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院强激光材料重点实验室,上海201800

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市激光学会2015年学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 160-161

在线出版日期: 2015-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）