一种大口径镀膜元件低频面形参数的有限元模拟分析方法

摘要：

根据相同镀膜条件下小尺寸基片的受力情况,利用有限元法对大尺寸基片镀膜引起的变形量进行了模拟,通过数据转换将模拟结果输入ZYGO面形处理软件,得到了低频面形参数变化量.对比模拟结果与实测结果,发现两者非常接近.利用该方法实现了形状复杂、尺寸较大镀膜基片面形参数变化量指标的预估,使得镀膜元件面形主动量化控制成为可能.

关键词： 工程镀膜 微晶基片 面形参数 数值模拟

作者: 邵淑英 柴英杰 王虎 郭猛 易葵

作者单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800;中国科学院大学,北京100049

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市激光学会2015年学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 162-162

在线出版日期: 2015-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）