铟锡合金薄膜光学性质组分变化研究
铟(In)基材料不但具有理论研究意义,而且应用广泛,例如透明导电氧化铟锡In2O3:SnO2简称ITO,掺铟氮化镓InGaN高亮度蓝光LED,银铟合金,铟锡合金等等.因为铟具有润湿玻璃和陶瓷的特殊性能,所以含铟的低熔点合金是玻璃、陶瓷和金属之间的良好粘结剂和密封材料,在电子工业和高真空领域里必不可少.之前的研究所用样品都是化学方法制备的体材料,研究手段未见光学方法,对铟锡合金的研究也很不充分.采用电子束蒸发方法，通过双源共蒸发在硅片上生长7种组分的锢锡合金薄膜，组分分析采用EDX，相分析采用XRD表征。
薄膜材料 铟锡合金 光学性质 组分变化
张金波 郑玉祥 赵冬冬 杨尚东 杨辽 刘谆骅 陈良尧
复旦大学,光科学与工程系 上海市邯郸路220号 200433
国内会议
上海
中文
170-170
2015-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）