薄膜材料的极紫外辐照损伤实验

摘要：

高强度短脉冲极紫外、X射线波段激光与材料辐照损伤研究对于X射线光学元件设计、极紫外光刻发展、新型探测器研制和等离子体诊断等有着重要的参考价值.随着新型短波长光源的发展,如极紫外、X射线波段自由电子激光和激光等离子体光源等,薄膜材料在极紫外、X射线波段的辐照损伤问题日益成为国际研究热点之一.

关键词： 薄膜材料 极紫外激光 辐照损伤

作者: 李文斌 王新 原晓峰 徐海钊 穆宝忠 王占山

作者单位: 先进微结构材料教育部重点实验室,同济大学精密光学工程技术研究所,同济大学物理学院,上海 200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市激光学会2015年学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 174-174

在线出版日期: 2015-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）