CO2激光器辐照对氧化锌薄膜结构及性质的影响

摘要：

本文主要研究CO2激光器辐照对室温条件下通过磁控反应溅射沉积的氧化锌薄膜结构及性质上的影响.分别采用X射线衍射仪、分光光度计、荧光光谱仪以及拉曼散射光谱等表征手段对比研究氧化锌薄膜辐照前后结构和光学性质的变化.

关键词： 氧化锌薄膜 激光辐照 结晶质量 缺陷密度

作者: 荆铭 姬佳林 洪瑞金 陶春先 张大伟

作者单位: 上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093 上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093;上海市现代系统光学重点实验室,上海200093;教育部光学仪器与系统工程研究中心,上海200093

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市激光学会2015年学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 175-176

在线出版日期: 2015-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）