气态分子污染物的控制研究

摘要：

本文首先从取样与分析着手研究.分析了设施内外的空气质量,识别出目标污染物以及那些可能影响气态分子污染(AMC)控制系统性能的物质;其次,针对AMC的种类与水平,提出AMC控制系统选择并验证方法;最后,提出对受控环境以及AMC控制系统的性能实施定期定点的监测要求与措施,是指导的AMC控制系统的不断优化的依据.

关键词： 洁净室 气态分子污染 污染控制 浓度检测 化学过滤器

作者: 曹国新 沈晋明

作者单位: 美埃净化科技(上海)有限公司 同济大学机械工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015年全国净化学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 87-92

在线出版日期: 2015-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）