脉冲袋式除尘器在光电行业中的应用
本文是根据某光电材料有限公司晶片磨光生产线清理工艺提出,主要介绍晶片清理过程中磨光工序,提出对现有清理设备设置二套集中除尘系统,实现处理流程的合理化,确保晶片磨光产生的扬尘及时引入除尘系统。通过集中收尘后,所产生的粉尘进入粉尘处理设备(脉冲袋式除尘器),经处理设备使净化后的空气排向大气,收集下为的物料回收或作为其它用处。本系统在粉尘污染治理上采取“防”、“治”结合,有效控制污染,确保工作区达到《工业企业设计卫生标准》的规定。
晶片清理 磨光工序 脉冲袋式除尘器 污染控制
谢青燕 罗晔 岳雪娇 朱燕
洁华控股股份有限公司
国内会议
江苏阜宁
中文
239-241
2015-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)