磁控溅射法制备VO2/AZO双层膜的结构及光学性能研究
二氧化钒(VO2)是很受关注的一种热致变色材料,具有在68℃可发生半导体-金属的可逆相变特性,因此在智能玻璃、建筑节能等方面有诱人的应用前景.但是VO2块材晶体的相变温度高于室温很多,而且可见光透过率偏低,使其相变前后对太阳光能的调节效率差,失去节能效果. 本文采用磁控溅射法,在普通玻璃衬底上制备了VO2/AZO双层膜.采用XRD、SEM、FTIR测试了薄膜的晶相结构、微观形貌和光学透射谱和反射谱.结果显示,AZO薄膜有助于VO2薄膜的取向生长;VO2/AZO双层膜在可见光区的透射率分别为48％ (80℃)和43％ (20℃),近红外区透过率差值27％,发射率0.66,热滞宽度17℃.分析表明,通过控制溅射氧压和采用一步溅射法制备的VO2/AZO双层膜,比单层VO2薄膜具有同样的的可见光透过率、更低的红外发射率和更窄的热滞宽度,因此显著增强了单层VO2薄膜的红外光开关调制能力,具有更佳的相变功能.
双层薄膜 二氧化钒 铝掺杂氧化锌 磁控溅射法 微观结构 光学性能
潘瑞琨 陶海征 储新宏 乔昂
湖北大学,材料科学与工程学院,武汉430062;武汉理工大学,硅酸盐建筑材料国家重点实验室,武汉430070 武汉理工大学,硅酸盐建筑材料国家重点实验室,武汉430070
国内会议
贵阳
中文
44-49
2014-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）