射频磁控溅射法制备氧化锌薄膜的研究

摘要：

采用射频磁控溅射技术,利用Zn靶,在玻璃衬底上制备ZnO薄膜.通过X射线衍射(XRD)仪、傅立叶红外光谱仪、紫外-可见光分光光度计UV-3600对ZnO薄膜进行表征,分析氧气流量对氧化锌薄膜的影响.结果表明:氧气流量其对氧化锌薄膜的结构影响显著.随着氧气流量的增加,氧化锌薄膜的结晶性逐渐变好且其中的缺陷减少.

关键词： 氧化锌薄膜 射频磁控溅射法 氧气流量 微观结构 结晶性

作者: 陈仁刚 邓金祥 崔敏 孔乐 陈亮 苗一鸣 庞天奇 张紫佳

作者单位: 北京工业大学应用数理学院 100124 北京

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 106-110

在线出版日期: 2014-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）