创新的电子光学设计--Tescan独特的中间镜技术
扫描电子显微镜是目前在各个领域都得到广泛使用的仪器.因此,仪器操作方便,自动化程度高,是每一家扫描电镜生产厂家所追求的目标.全自动电子光学设计(扫描电镜工作模式的自动转换),是实现扫描电镜自动化操作的关键之路.虽然许多厂家在介绍扫描电镜的性能时,都称自动化程度高,但实际上,并没有实现真正意义上的”电子光学全自动控制”.为了实现扫描电镜工作模式的自动转换，蔡司公司和TESCAN公司异军突起，走创新发展的道理，在电子光学设计中，采用了第二类设计：聚光（物）镜+固定光阑（电偏转或中间镜技术）。使得扫描电镜工作模式的转换，实现了真正的全自动操作。另外，Tescan的场发射扫描电镜在（电子光学系统）镜筒中没有移动的机械传动结构的基础上，又实现了“先进的实时电子束追踪技术”，主动控制电子束行为。在操作界面上，可以很容易地通过设置，控制束流大小的连续可调和束斑尺寸大小连续可调。以满足最佳成像条件，微量分析和电子束光刻等的需要。
扫描电子显微镜 工作模式 聚光镜 固定光阑 自动转换
唐圣明
中科委
国内会议
上海
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46-48
2015-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）