四象限光电探测器性能参数仿真分析
阐述了四象限光电探测器的工作原理,给出了灵敏度、线性位置偏差、零位偏差及位置测量误差等性能参数的定义,研究了差比和法与对数比法两种目标位置算法.以对角式四象限光电探测器为例,探讨了算法、方向、光敏面尺寸与目标光斑尺寸四种因素对四象限探测器测量目标位置时性能参数的影响,并进行了数值仿真分析.仿真计算结果表明:采用对角式四象限光电探测器测量目标位置时,优选对数比法进行光斑处理;目标的光斑尺寸对目标位置测量的灵敏度和线性范围的影响最大.
四象限光电探测器 性能参数 数值仿真 对数比法
卞伟伟 辛振芳 马力超
北京机械设备研究所,北京100854
国内会议
北京
中文
31-37
2015-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）