光谱共焦技术在精密几何量计量测试中的应用
光谱共焦测量技术由于其具有测量精度高、测量速度快、可以实现非接触测量的独特优势而被广泛应用于工业级测量.本文在论述光谱共焦技术原理的基础上，列举了光谱共焦传感器在几何量计量测试中表面粗糙度测量、轮廓、几何尺寸测量、薄膜材料厚度测量方面的典型应用，基于光谱共焦技术的传感器作为一种亚微米级、快速精确测量的传感器，已经被广泛应用于表面微观形状、厚度测量、位移测量、在线监控及过程控制等工业测量领域。展望其未来，随着光谱共焦传感技术的发展，必将在微电子、线宽测量、纳米测试、超精密几何量计量测试等领域得到更多的应用。
几何量计量 光谱共焦技术 传感器
陈挺 周闻青 卢歆 叶欣 茅振华
浙江省计量科学研究院,浙江杭州310018
国内会议
西安
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2015-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）