基于AFM探针测量材料近表层的力学性能
随着MEMS/NEMS结构和生物材料尺度的减小，材料近表层力学性能的测量成为近年来研究的热点问题。但是，由于近表面的厚度从几纳米到几十纳米，传统的压痕方法和设备并不适用，而原子力显微镜(AFM)具有超高的空间分辨率，可以作为一种定量测试材料近表面力学性能的手段。本文首先利用AFM压痕方法得到材料的载荷压深曲线，然后应用接触理论计算了PDMS、云母和单晶硅三种材料的近表面力学性能。最后，利用有限元数值计算方法，模拟了材料塑性、探针悬臂倾斜角度以及探针刚度与样品的弹性模量等参数对检测结果的影响。
超薄材料 近表层 力学性能 原子力显徽镜
苏东川 李喜德
清华大学航天航空学院,北京,100084
国内会议
威海
中文
94-96
2012-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）