用于微流体油液检测芯片的电阻检测法
为了提高微流体油液检测芯片对非铁磁性金属颗粒(铜)的检测精度和灵敏度,本文在电感法检测法的基础上提出了电阻检测法,并对检测芯片的电阻信号输出规律进行研究.介绍了电感法的检测原理及其检测缺陷,制作了实验用检测芯片并设计了检测系统.最后,实验分析了微流体油液检测芯片电阻信号输出规律.实验显示:检测80μm以下的铜颗粒时,电阻法的检测精度高于电感法;检测芯片其他参数不变,电感线圈匝数为800匝时,线圈电阻变化量为0.2093Ω;微流道直径为230μm时,线圈电阻变化量为0.1857Ω.油液中铜颗粒粒径小于80μm时,电阻法检测精度高于电感法;芯片中电感线圈匝数与电阻变化量呈线性关系,流道直径与电阻变化量同样为线性关系.
微流体油液检测芯片 电阻信号 输出规律 检测技术
王强 张洪朋 张剑锋 孙玉清 陈海泉
大连海事大学轮机工程学院,辽宁大连116026
国内会议
长春
中文
342-347
2015-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）