连续镜面可变形镜面形的正交多项式描述
以压电可变形镜(PDM)和微机械薄膜可变形镜(MMDM)为例,讨论了准确描述连续镜面面形的方法.比较了基于Zernike多项式和Q多项式的面形描述方法在不同参数条件下的准确度,探讨了高阶项对于提升拟合精度的作用.令单个或多个驱动器作用,分别获得了PDM和MMDM的面形数据各5组.然后,以采样点数和多项式阶数为变量,采用5种采样点阵的分布形式,分别用Zernike多项式和Q多项式对获得的10组面形进行最小二乘拟合.实验结果显示:与其他4种均布采样形式相比,边缘聚类采样更有利于提升拟合精度;与Zernike多项式拟合相比,Q多项式在超过40阶的拟合中残差更小;添加20至80阶多项式用于拟合时,残差的均方根(RMS)值保持在1×10-5 mm数量级,而靠近孔径中心的区域的残差明显降低.得到的结论有助于在变形镜应用中选取拟合参数,以便准确描述面形,提高波前控制精度.
光学系统 压电可变形镜 微机械薄膜可变形镜 连续镜面面形 正交多项式描述法
李舒阳 郝群 程雪岷
清华大学深圳研究生院,广东深圳518055 北京理工大学光电学院,北京100081
国内会议
长春
中文
8-15
2015-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）