热式质量流量计中MEMS悬臂梁开关的研究
为了降低热式质量流量计的功耗,延长供电电池的使用寿命.设计基于悬臂梁的热式质量流量计开关,将其置于气流通道的前端,用于控制流量计电路的通断.对悬臂梁的制作工艺进行了设计,采用纳米压印的方法制备悬臂梁,并对悬臂梁的效果进行仿真和验证,结果证明此结构对降低功耗起到重要作用,具有广泛的应用价值.
热式质量流量计 悬臂梁 制备工艺 设备能耗
张志利 吴元庆 王鹏 郭卉 李益敏 李艳
天津中德职业技术学院,天津300350 渤海大学新能源学院,辽宁锦州121032
国内会议
北京
中文
417-420
2015-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）