基于LTPS制程工艺的高应变点基板玻璃研究

摘要：

本文高应变点基板玻璃的主要性能及其测试方法,通过成分设计,研究了Y2O3在无碱硼硅玻璃体系中材料性能的影响,CaO替代SrO对材料物理性能和工艺性能的影响规律.获得了膨胀系数在(29～38)×10-7/℃之间,应变点温度大于710℃,密度保持在(2.41～2.46)g/cm3之间,显微维氏硬度大于640kgf/mm2基板玻璃组成范围.

关键词： 基板玻璃 低温多晶硅技术 制程工艺 产品性能

作者: 田英良

作者单位: 北京工业大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015光电子玻璃及材料技术交流研讨会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 81-89

在线出版日期: 2015-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）