LED蓝宝石衬底研磨工艺研究

摘要：

本文研究了金刚石研磨液在LED蓝宝石衬底研磨过程中工艺参数:研磨盘材质、研磨压力、研磨盘转速对材料去除速率和表面粗糙度Ra值的影响.通过具体研磨试验得出:采用铜材质研磨盘、研磨压力3 psi、研磨盘转速80 rpm的工艺参数组合,可获取高效的材料去除速率和良好的表面粗糙度Ra值.

关键词： 发光二极管蓝宝石衬底 研磨技术 金刚石研磨液 工艺参数

作者: 王志强 方伟 达朝鸿 豁国燕 王沛

作者单位: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,郑州450001 河南工业大学,郑州450001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届中国超硬材料技术发展论坛

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 89-93

在线出版日期: 2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）