磁控溅射多层沉积Nb3Sn超导薄膜

摘要：

Nb3Sn金属合金是一种性能优良的超导材料.磁控溅射多层沉积是用两个溅射源分层沉积铌和锡,再经过高温退火后获得超导薄膜的方法.用这种方法所获得的超导薄膜的原子组分的调整比较方便,对于Nb3Sn的研究较为有利.实验测量了样品的超导参数和晶格参数,其超导临界温度(Tc)可达17 K,剩余电阻率(RRR)为5左右.需要进一步研究相关工艺,以便提高RRR,从而使这种方法在超导加速腔的制造中得到应用.

关键词： 铌锡合金 超导薄膜 多层沉积工艺 磁控溅射技术

作者: 李金海 A.A.Rossi V.Palmieri

作者单位: 中国原子能科学研究院,北京102413 INFN,Laboratori Nazionali di Legnaro,Legnaro (Padova),2-35020 Italy

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014全国荷电粒子源、粒子束学术会议(中国电工技术学会第十五届全国电子束离子束学术年会、粒子加速器学会第十四届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会高能束及特种焊接2014年学术交流会、北京电机工程学会第十三届粒子加速器学术交流会)

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 59-63

在线出版日期: 2014-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）