基于原子发射光谱的TiC等离子体沉积诊断

摘要：

对通过磁过滤阴极真空弧(FCVA)获得的高密度、高离化率的等离子体进行诊断.为研究C2H2气流量对磁过滤阴极弧产生的等离子体的影响,采用原子发射光谱(OES)法对FCVA沉积过程中产生的TiC等离子体进行诊断.利用Saha-Boltzmann方法对不同气流量下等离子体的参数进行计算,并对等离子体产生过程中的谱线强度随气流量变化的机制进行研究.结果表明,等离子体电离度较高,约为0.8左右且随气流量的变化不大;电子温度和电子密度分别在1×104～2×104K和1023～1024 m-3范围内变化,且随着气流量的增加呈现出先增大后减小的变化趋势;Ti粒子谱线相对强度随气流量的变化不大,表明Ti粒子大部分在阴极弧斑附近被离化.

关键词： 碳化钛等离子体 沉积诊断 原子发射光谱

作者: 周晗 周福增 伏开虎 黄杰 陈琳 廖斌 张旭

作者单位: 北京师范大学核科学与技术学院 教育部射线束技术与材料改性重点实验室 北京市辐射中心,北京100875

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014全国荷电粒子源、粒子束学术会议(中国电工技术学会第十五届全国电子束离子束学术年会、粒子加速器学会第十四届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会高能束及特种焊接2014年学术交流会、北京电机工程学会第十三届粒子加速器学术交流会)

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 79-83

在线出版日期: 2014-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）