基于原子力显微镜的金刚石刀具锋利度检测装置研制

摘要：

有效评价圆弧刃金刚石刀具锋利度的关键是如何准确获取刃口形貌信息,基于此建立了以原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM)和精密气浮主轴为核心部件的测量系统.为了评价系统的测量可靠性,对气浮主轴的回转误差进行了测试;对安装回转轴系后的AFM噪声和定位精度进行了测试,结果表明系统的静态噪声值约为5nm,主轴具有较高的定位精度.最后应用测量系统进行了金刚石圆弧刃刀全刃口锋利度测量实验,首次从整体轮廓上对圆弧刃金刚石刀具的锋利度作出了评价,具有一定实际意义,为金刚石刀具质量评价提供了参考。

关键词： 金刚石刀具 锋利度 测量精度 精密气浮主轴 原子力显微镜

作者: 张晓峰 王宝瑞 杜文浩 刘兴宝

作者单位: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015年第五届全国地方机械工程学会学术年会暨中国制造2025发展论坛

会议地点: 云南腾冲

会议语种:中文

页码: 1-9

在线出版日期: 2015-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）