溅射膜电极与氧化锌基压敏陶瓷的界面机制研究
利用溅射法制备半导体陶瓷表面的电极有着广阔的产业化前景,但关于溅射膜电极与陶瓷表面的界面机制研究尚鲜有报道.本文采用磁控溅射法在ZnO压敏陶瓷表面制备了Cr-Cu电极,通过XPS等技术研究分析了Cr/ZnO的界面反应及界面成分.研究结果表明:常温下Cr膜在氧化锌表面的沉积模式为混态生长模式,在Cr的初始沉积阶段,Cr价层电子与氧化锌表面存在电子迁移作用,有氧化态的Cr生成;随着覆盖度的增加,电子转移逐渐减弱,最后Cr完全呈现为金属态的中性吸附.该界面反应生成的化合物对溅射膜电极的欧姆接触,附着力等性能有重要作用,而且能有效阻止电极元素Cu或Ag的纵向扩散.
半导体陶瓷 膜电极 磁控溅射法 氧化锌 铬元素
王文婷 陶烨波 王德苗
浙江大学信息科学与电子工程系,浙江杭州,310027
国内会议
杭州
中文
250-258
2015-05-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）