热解吸质谱法装置载气出口温度影响因素的研究
质谱分析法是用来分析表面污染物的一种有效方法,热解吸质谱法就是将热解吸脱附进样技术与四极质谱分析技术相互结合.材料表面样品分子解吸脱附的能量主要来源于加热后的气体分子,入射气体分子的温度越高,材料表面样品分子获得能量就越大,材料表面样品分子解吸脱附的几率就越大.因此,载气出口温度的研究具有重要意义.本文分别从理论和实验两个方面对载气出口温度进行了研究,主要讨论了气体的流量、性质等影响因素.从理论计算与实验结果可以看出:对于相同的气体，载气流量越大，出气口温度越高；对于性质不同的气体，当流量相同时，载气出口温度主要与气体的性质即比热容、密度、粘度和导热系数有关。
真空系统 表面污染物 质谱分析法 载气出口温度
陈蕾 肖梅 张晓兵
东南大学电子科学与工程学院,南京,210096
国内会议
杭州
中文
264-268
2015-05-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）