一种基于MEMS技术的声矢量传感器

摘要：

作者设计了一种由三个指向性满足笛卡尔坐标系正交分布的空气声质点振速传感器和一只全向声压传感器组成的声矢量传感器.对一种具有”8”字形指向性的桥式结构的质点振速传感器的工作原理进行分析,并利用MEMS工艺技术加工出了该质点振速传感器.最后对组装完成的声矢量传感器的频率响应及指向性进行了测试,测试结果表明该声矢量传感器具有良好的声学性能。

关键词： 声矢量传感器 微机电技术 频率响应 指向性测试 声学性能

作者: 侍艳华 冯杰 周瑜

作者单位: 中国电子科技集团公司第三研究所 北京100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015年声频工程学术交流年会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 44-50

在线出版日期: 2015-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）