低气压He/N2混合气体辉光放电数值模拟研究
本文针对低气压下含有少量氮气杂质(1 ppm-200 ppm)的氦气辉光放电特性进行研究,通过建立相应的二维流体模型,利用COMSOL有限元法数值求解了基本物理方程,得到了放电空间各物理量的空间分布,分析讨论了氮气杂质的含量对低气压下氦气辉光放电的影响.研究结果表明,随着杂质含量的升高,相同电极材质下气隙维持电压升高,回路电流降低,并且由于氮分子和氦亚稳态原子的彭宁电离过程为放电提供了较多电子,导致等离子体区的电子密度升高、电子温度降低.
混合气体 辉光放电 氦气 氮气 数值模拟
杨新婷 邹晓兵 付洋洋 罗海云 杨硕 王新新
清华大学电机工程与应用电子技术系,北京,100084
国内会议
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2015-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）