基于3-PPRR并联机构的精密定位工作台设计及其运动学分析

摘要：

设计了一种用于纳米压印光刻机的精密定位工作台,并对其进行构型设计、运动学分析与建模研究等关键技术.首先以传统3-PPRR并联机构为基础,将机构中的刚性运动副用柔性铰链代替,设计了一台精密定位工作台,并建立了机构的伪刚体模型.通过其运动约束方程,得出了机构的位置逆解表达式,进而得到机构的位置正解表达式.利用RecurDyn软件对机构进行运动仿真从而对其运动轨迹进行验证.

关键词： 纳米压印光刻机 精密定位工作台 柔性并联机构 结构设计 运动学分析

作者: 孟彩茹 张高青 李强

作者单位: 河北工程大学 机电工程学院,河北邯郸056038

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015工业设计与协同创新学术会议暨第20届全国工业设计学术年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 16-18

在线出版日期: 2015-05-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）