前驱体浓度对APCVD法在线大面积制备TiO2薄膜结构与性能影响规律的研究

摘要：

以四异丙醇钛为前驱体,采用浮法在线常压化学气相沉积(APCVD)法大面积均匀制备了TiO2透明易清洁薄膜.运用X射线衍射、场发射扫描电镜、原子力探针显微镜、透射电子显微镜、椭偏仪等测试方法研究了不同前驱体浓度对TiO2薄膜微结构、可见光透过率和光诱导亲水性的影响规律.研究结果表明TiO2薄膜只存在锐钛矿相,前驱体浓度在0.44％～1.76％之间,随着前驱体浓度的提高,薄膜的结晶性能逐渐提高,薄膜厚度逐渐增加,光诱导亲水性逐渐增强.当前驱体浓度为1.76％时,薄膜结晶性能最好,可见光透过率大于60％,经过紫外光照射两小时,接触角降为3.7°,具有超亲水性.

关键词： 二氧化钛薄膜 纳米结构 前驱体浓度 浮法在线化学气相沉积 亲水性能 结晶性能

作者: 刘新 高倩 王慷慨 刘涌 刘军波 宋晨路 韩高荣

作者单位: 浙江大学材料科学与工程学系,硅材料国家重点实验室,浙江杭州310027 浙江大学材料科学与工程学系,硅材料国家重点实验室,浙江杭州310027;浙江省电池新材料与应用技术研究重点实验室,浙江,杭州,310027 杭州蓝星新材料技术有限公司,浙江杭州310012

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015年全国玻璃科学技术年会

会议地点: 江苏宿迁

会议语种:中文

页码: 81-86

在线出版日期: 2015-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）