TiO2:Nb薄膜的溶胶凝胶法制备及氢气退火对性能的影响

摘要：

采用溶胶凝胶方法结合两种不同热处理工艺制备高浓度掺杂TiO2:Nb薄膜,随后将制备好的薄膜在氢气气氛下700℃退火.采用X射线衍射、扫描电子显微镜、荧光光谱等手段研究了薄膜的结构、组成、微观形貌等信息.研究结果表明,掺杂Nb原子取代Ti晶格后促进了TiO2的n型导电性,使TNO薄膜具有透明导电功能.经氢气退火后锐钛矿相(101)衍射峰明显增强,TiO2:Nb薄膜的结晶性能更为优异.证明氢气退火有利于形成对导电性有利的锐钛矿相,对结晶性能有所改善.并且在相同的沉积温度下,沉积时间长的薄膜结晶性能更好.同时,氢气退火有利于产生缺陷并提高Nb原子的掺杂效率,对导电性有促进作用.

关键词： 薄膜材料 二氧化钛 铌元素 溶胶凝胶法 氢气退火工艺 结晶性能 导电性能

作者: 李雯 陆妍 丛炳俊 伍枝正 刘涌 韩高荣 宋晨路

作者单位: 浙江大学材料科学与工程学院,硅材料国家重点实验室,浙江杭州310027 浙江大学材料科学与工程学院,硅材料国家重点实验室,浙江杭州310027;浙江省电池新材料与应用技术研究重点实验室,浙江,杭州,310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015年全国玻璃科学技术年会

会议地点: 江苏宿迁

会议语种:中文

页码: 87-90

在线出版日期: 2015-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）