截止蓝光镀膜玻璃的溅射法制备与性能研究

摘要：

设计了达到截止蓝光目的的膜系,并采用磁控溅射镀膜工艺,以TiO2和SiO2作为介质膜,通过优化工艺参数,在玻璃基片成功制备了具有截止蓝光特性的功能复合薄膜.用XPS表征了TiO2薄膜中Ti元素价态以及化学计量比,用NKD-7000分析了薄膜的光学参数,用FTIR分析了SiO2薄膜的结构,采用FESEM分析薄膜表面形貌,用紫外-可见光谱仪测试了复合膜选择性透过的特性,分析了影响截止蓝光镀膜玻璃性能的因素.镀膜玻璃的蓝光截止率达到98％,大于蓝光波长的光谱透射率达到90％.

关键词： 镀膜玻璃 二氧化硅薄膜 二氧化钛薄膜 磁控溅射法 截止蓝光特性

作者: 刘旭 赵青南 罗乐平 王燕芳 杨振 董玉红 赵杰

作者单位: 武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室,湖北武汉430070 武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室,湖北武汉430070;江苏秀强玻璃工艺股份有限公司,江苏宿迁223800 江苏秀强玻璃工艺股份有限公司,江苏宿迁223800

会议类型: 国内会议

会议名称: 2015年全国玻璃科学技术年会

会议地点: 江苏宿迁

会议语种:中文

页码: 123-129

在线出版日期: 2015-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）