微型化太赫兹集成器件的前沿技术进展

摘要：

太赫兹器件的微型化和集成化是目前国际太赫兹技术发展的方向之一.针对国际上最新的太赫兹器件研制技术及发展方向予以分析,包括共振隧穿二极管、单向载流子传输光电二极管两类器件,从材料生长、器件结构和太赫兹系统应用等几个方面进行阐述,为太赫兹基础器件技术研究提出新的方向。

关键词： 太赫兹集成器件 半导体材料 微纳加工

作者: 宋瑞良 宋跃

作者单位: 中国电子科技集团公司第五十四研究所 北京 100070

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 347-351

在线出版日期: 2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）