非蒸发型吸气剂泵与离子泵组成的复合泵
正在设计中的上海同步辐射光源(SSRF)储存环真空系统上除了用钛升华泵外，在某些区域也准备用非蒸发型吸气剂泵(NEGP)。我们研制了一台离子泵(SIP)+非蒸发型吸气剂泵(NEGP)的复合泵，在于2001/s离子泵的中间装上一个WP1250·St707的NEG组件。WP1250经过激活后，复合泵的极限真空提高到家6×10<,-12>torr，比单独的离子泵极限真空提高一个数量级。对H<,2>和CO的初始抽速分别提高了5001/s和平3301/s，特别是在10<,-10>torr范围内，NEGP较离子泵有更大的抽速。我们还测试了WP1250随吸气量的增大抽速下降的曲线。
非蒸发型吸气泵 复合泵 离子泵
沈宝华 陈丽萍 姜晓丽 蒋迪奎 俞昶
国家上海同步辐射中心
国内会议
广西北海
中文
61-68
2001-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）