LED行业用废氨气处理技术

摘要：

MOCVD金属有机物化学气相沉积法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放.本文对现有的几种尾气处理技术进行分析,指出各自存在的优点和缺点.从回收利用和节能减排两个角度出发,对原有方法进行了改进,提出四级尾气吸收的新型尾气处理技术,实现了氨气的回收利用,降低的大气的污染.

关键词： 发光二极管工程 废氨气 尾气处理技术 排放控制

作者: 孙猛

作者单位: 苏州金宏气体股份有限公司,苏州,215152

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十九次年会

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 49-53

在线出版日期: 2015-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）