吸气剂对电子特气氢、氩中杂质脱除机理及应用

摘要：

研究了吸气剂对电子特气氢、氩气纯化的基本原理,着重叙述了吸气剂的机工艺流程，采用两个吸附反应器对原料气进行纯化，每个吸附反应塔都内装有高效脱氧干燥剂，可以深度脱除气体重的氧、水、CO2,碱等杂质，吸附剂吸附饱和后可加热通氢使其再生，两个吸附器全自动交替工作、再生，可以实现连续产气，吸气剂纯化器大幅度提高气体指标、保障产气纯度的效果.

关键词： 电子特气 氢气 氩气 吸气剂 纯化工艺

作者: 高嵩 赵霖 刘皖南 乐昀 邱长春

作者单位: 大连中鼎化学有限公司,辽宁大连116023

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十九次年会

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 54-57

在线出版日期: 2015-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）