气相色谱法测高纯磷烷中的杂质含量
采用氦离子检测器(PDHID)气相色谱分析方法测定磷烷(PH3)中的杂质,结果表明氦离子检测器(PDHID)对磷烷分析有较好的效果,并验证其测量应用范围指出相对于其他检测器，用氦离子检测器对磷烷进行检测分析，灵敏度高，检测限达到10-9级别，本实验气路流程设计和色谱柱选择，解决了高纯磷烷分析的几大难点，可以满足电子工业磷烷气体所有杂质分析需要，本实验样品谱图的结果分析，为寻求高纯磷烷的纯化方法提供了数据基础，由于磷烷气体有剧毒，必须对气路管道、色谱柱、检测器以及各种接头进行严格检漏，实验室也要配置报警装置，并做好尾气处理，本实验实现了磷烷的全分析，并且得出良好分析结果，实验期望为最终建立磷烷行业分析标准提供参考和对国家特气发展做出贡献。
磷烷 杂质含量 气相色谱法 氦离子检测器
郁光 咸鹏林 庄鸿涛 方华
上海华爱色谱分析技术有限公司,上海200437
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107-111
2015-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）