液氮冷阱的应用使DID气相色谱法更准确的检测超高纯氙气中的杂质

摘要：

氙气,广泛用于电子、电光源工业.目前,高纯氙气作为一种特气,对纯度的要求越来越高;美国GOW-MAC仪器公司生产的592 DID型气相色谱仪,配置美国GOW-MAC仪器公司的放电离子化检测器(DID——Discharge Ionization Detector),使用超高纯纯化器加上液氮冷阱的双重作用,实现了检测高纯氙气中10×10-9甚至低于10×10-9的H2、O2+Ar、N2、Kr、CH4、CO、CF4、CO2、N2O、C2F6等杂质的检测.

关键词： 超高纯氙气 杂质检测 气相色谱法 放电离子化检测器 液氮冷阱

作者: 明方宇 刘丽娜

作者单位: 美国GOW-MAC仪器公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十九次年会

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 125-128

在线出版日期: 2015-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）